Heizung MoCVD-Reaktor mit Induktion
Bei Reaktoren zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) mit Induktionserwärmung handelt es sich um eine Technologie, die darauf abzielt, die Heizeffizienz zu verbessern und schädliche magnetische Kopplungen mit dem Gaseinlass zu reduzieren. Bei herkömmlichen MOCVD-Reaktoren mit Induktionsheizung befindet sich die Induktionsspule häufig außerhalb der Kammer, was zu einer weniger effizienten Erwärmung und möglichen magnetischen Störungen des Gaszufuhrsystems führen kann. Jüngste … Lesen Sie weiter